講演8 | 二重変調方式THzエリプソメータによる塗装膜厚測定 |
研 究 者 ○印発表者 | ○上村裕明、※水谷康弘、※※安井武史、※※岩田哲郎 |
所 属 | 徳島大学大学院・先端技術科学教育部知的力学システム工学専攻 ※徳島大学ソシオテクノサイエンス研究部講師 ※※教授 |
概 要 | 塗装薄膜の高精度膜厚計測を目的とし,二重変調方式テラヘルツ(THz)エリプソメータを製作した.そのためにTHz波を強度および偏光変調させ,強度変調に同期したロックインアンプの出力に,偏光変調に同期した2相ロックインアンプを縦続接続した.これにより,等方性試料においては1回の測定で膜厚を推定するためのエリプソメータのパラメータΔ,Ψを精度よく取得できるようになった. |